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半导体超高纯电子特气系统中电子混合气的简单先容

2021-03-03 13:36:04    责任编辑: 特气系统工程设计安装企业     0

在半导体、集成电路等微电子工业中,气体扮演着不可或缺的角色,其中除了大家熟知的一些大宗气体以外,就是通过超高纯电子特气系统参与制程各工序的特种气体,其中有一个重要的组成部分:电子混合气体。通俗的讲,就是由几种气体组成的气体混合物。



电子混合气定义及应用

气体混合物是指又两种或者两种以上的纯气体、根据使用的要求并按一定比例配制而成的混合气,来满足使用需求,有二元或者多元混合气,其品种之多,可达数千种。

电子特种气体,除可直接通过超高纯电子特气系统管道供气作为半导体源:如硅源、硼源、磷源和化学气相沉积(CVD)源等以外。便是通过特气系统输送到混合配比器中生成电子混合气体。

电子混合气体广泛用于大规模集成电路(L.S.I)、超大规模集成电路(V.L.S.I)和半导体电子器件生产中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、离子注入和洁净吹扫等工艺中。


电子混合气分类:

根据不同用途又可以将电子混合气体分为:晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相淀积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。



以上,便是关于半导体超高纯电子特气系统中,关于电子混合气的定义、分类和应用领域的简单先容,感谢您的阅读!


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